RTO焚燒爐:即蓄熱式焚燒爐，通過對廢氣焚燒產生的余熱采用陶瓷蓄熱體進行蓄熱，有效利用了焚燒產生的熱量，從而達到經濟焚燒的目的。焚燒過程溫度控制在750-50 ℃。廢氣進口溫度通常為常溫，經過RTO焚燒再蓄熱利用后溫度達到 100℃左右，即廢氣溫升約80-90℃。焚燒爐內氧含量在18％-20%，氧含量較高,故對進入RTO的廢氣 LEL濃度控制較嚴格，需要控制在爆炸下限的25％以下。焚燒效率約95％，運行成本和投資成本相比VAR焚燒爐更低一些。
進入RTO焚燒爐的廢氣要求
（1）主要用于大風量、低濃度的廢氣焚燒；
（2）酸性污染 物先進行預處理，除絕 大部分無機酸；
（3）廢氣中VOC濃度不能過高，一般控制在爆炸下限的25％以下；
（4）廢氣不能含 明顯固體、粉塵，否則必須經過預除塵、過濾處理；
（5）禁止混入氫氣、甲烷氣、乙烯等危險性較大的廢氣 。
RTO的局限性：
（1）不能處理高含量含氫廢氣、甲烷廢氣 、腐蝕性廢氣、乙烯廢氣等危險性廢氣；
（2）不能處理LEL濃度超過25％的廢氣，如果高于該濃度要求，則需要經過稀釋處理，就會降低焚燒的經濟性；
（3）廢氣量根據設計流量平穩排放，不得突然超量排放；
（4）能處理廢液、廢水、固廢。

VAR焚燒爐
即直接燃燒式焚燒爐，將廢氣、廢液焚燒直接通入爐膛內進行徹底焚燒，燒溫度控制在1000 ～1150℃左右，最高不能超過1200℃，最低不能低于900℃。焚燒后煙氣溫度可通過余熱鍋爐進行再利用產生蒸汽，煙氣溫度經過再利用后溫度 從1100 ℃降到 300 ℃左右，最低不能低于280℃，廢氣進口溫度通常為常溫， 經過焚燒余熱利用后溫度300℃，即廢氣溫升約280℃左右。焚燒爐內氧含量控制范 圍 10％ ～16％。 對進入焚燒爐的廢氣濃度理論上沒有限制，而且濃度越高越經濟，但要保證輸送過程安全。因為燃燒焚燒高，故焚燒效率比RTO更高， 但是運行費用和投資成本也更高。
進入熱力焚燒爐（VAR）的廢氣要求:
（1）小風量、高濃度的廢氣 ；
（2）為保證燃燒的經濟性和安全型，要求廢氣輸送過程實現全密閉；
（3）含酸性污染物必須進行預處理，去除絕大部分無機酸；
（4）不能含明顯固體、粉塵，否則必須經過預除塵、過濾處理；
（5）可以焚燒處理氫氣、甲烷氣 、乙烯等危險性較大的廢氣；
（6）廢氣中氧含量必須嚴格控制，禁止大量空氣進入廢氣總管，否則會增加管道爆炸風險。
進入焚燒爐的廢液要求：
（1）粘稠廢液或常溫下易凝固廢液需預先調配至流動性較好狀態；
（2）含水溶劑(如廢甲醇) 需提純至濃度90％以上，以降低能耗；
（3）廢液應預先進行除酸、脫鹽、脫水、脫機械雜質等處理；
（5）廢液中各元素限值 （ω）：溴 0.83％、氯4.16％、氟0．42％、 磷 0．08％、 硫4.16％、有機氮 12.5％、灰分 4.16％(其中鹽分以及含鈉離子 的物質不超過總質量 的 2％ )。